Гнучкі сенсори з високою чутливістю, широким діапазоном робочих тисків, швидким відгуком та низькими лімітами виявлення викликають широкий інтерес завдяки їх важливій ролі у розвитку носимих штучних пристроїв, взаємодії людини з машинами та систем охорони здоров'я. У даній роботі виготовлено гнучкі та високочутливі ємнісні датчики тиску на основі гнучких електродів з дисками мікрорельєфу та ультратонким діелектричним шаром. Запропонований датчик складається з верхнього мікрорельєфованого електрода, середнього ультратонкого діелектричного шару та нижнього мікрорельєфованого електрода, і проявляє надвисоку чутливість 30.2 кПа 1 (0-130 Па), швидкий час реакції 25 мс, низький ліміт виявлення 0.7 Па та виключну стійкість 100 000 циклів.   Аналіз показав, що зміни контактної площі та відстані між двома електродами під впливом зовнішньої дії є критичними для досягнення високих властивостей датчика. Завдяки відмінним комплексним характеристикам продемонстровано великий потенціал ємнісного датчика в моніторингу фізіологічних сигналів та рухів роботів, що вказує на перспективи його застосування в носимих інтелектуальних електронних пристроях.